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      應用管式PECVD


      石英管外部加電感線圈,射頻功率加載在線圈上,石英管兩端密封,抽真空,通過電感耦合方式,射頻功率會耦合到石英管內部,石英管真空度在10-60帕之間,射頻功率使石英管內部含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

      國內傳統射頻匹配器在應用此類設備的過程中,在管內氣壓或者氣體變化的時候,匹配器跟蹤會出現紊亂的情況,導致失配,從而使制程出現異常,我司射頻匹配器采用數字算法,無論氣壓或者氣體變化,總能夠及時跟蹤,實時進行匹配。目前我司的射頻電源和自動匹配器,已經廣泛應用于國內各大科研設備制造商。

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